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CXF-320/3001型磁懸浮分子泵
簡短描述:
電磁軸承又稱“有源磁懸浮軸承”,由磁軸承、傳感器和控制系統(tǒng)組成。本設(shè)計具有動態(tài)響應(yīng)及時調(diào)整,軸系高速運轉(zhuǎn)可靠等特點。
磁懸浮分子泵是依靠磁力支撐軸系的泵。
系列磁懸浮分子泵是KYKY公司為滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、芯片制造、工業(yè)電鍍、科學儀器等領(lǐng)域的應(yīng)用需求而開發(fā)的真空產(chǎn)生設(shè)備。