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【真空檢漏】關(guān)于真空檢漏的概念項(xiàng)目方法
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【真空檢漏】關(guān)于真空檢漏的基本概念、檢漏項(xiàng)目和檢漏方法
一、概漏的基本概念
真空檢漏就是檢測(cè)真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過(guò)程。
漏氣也叫實(shí)漏，是氣體通過(guò)系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流到低壓側(cè)的現(xiàn)象。
虛漏，是相對(duì)實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、氣體通過(guò)器壁的滲透及系統(tǒng)內(nèi)死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。
氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過(guò)漏孔(或間隙)的漏氣和材質(zhì)的滲氣。
最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測(cè)出的漏率的最小值。
最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測(cè)出的最小漏率。對(duì)于檢漏儀器來(lái)講，最佳靈敏度又稱(chēng)作儀器靈敏度。
檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測(cè)出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱(chēng)作有效靈敏度。
反應(yīng)時(shí)間，即從檢漏方法開(kāi)始實(shí)施(如開(kāi)始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應(yīng)的時(shí)間。
消除時(shí)間，即從檢漏方法停止(如停止噴吹且開(kāi)始抽出示漏氣體)到指示方法的指示消失的時(shí)間。
漏率，即單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔(包括間隙)的氣體量。
二、檢漏項(xiàng)目
LINAC 真空檢漏
冷凝器真空檢漏
渦輪真空檢漏
管道真空檢漏
真空爐真空檢漏
凍干機(jī)真空檢漏
三、檢漏方法
檢漏方法很多，根據(jù)被檢件所處的狀態(tài)可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。
充壓檢漏法：在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì)，如果被檢件上有漏孔，示漏物質(zhì)便從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測(cè)出從漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充壓檢漏法。
真空檢漏法：被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在被檢件的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元件的空間，由敏感元件檢測(cè)出示漏物質(zhì)，從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，這就是真空檢漏法。
其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。
所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀態(tài)下使示漏氣體再?gòu)谋粰z件中漏出．以某種方法(或檢漏儀)檢測(cè)漏出的示漏氣體，判定被檢件的總漏率的方法。
